(h) Excimerové lasery (XeF, XCl, KrF) s opakovacím kmitočtem vyšším než 250 Hz a průměrným výkonem vyšším než 500 W, pracující ve vlnovém rozsahu mezi 240 a 360 nm,
(h) Excimerové lasery (XeF, XCl, KrF) s opakovacím kmitočtem vyšším než 250 Hz a průměrným výkonem vyšším než 500 W, pracující ve vlnovém rozsahu mezi 240 a 360 nm,