(e) Hmotnostní spektrometry s molekulárním svazkem paprsků, a to:

(1) se zdrojovou komoru vyrobenou z/potaženou nebo obloženou korozivzdorná ocelí nebo molybdenem, s chlazeným lapačem, jenž lze zchladit na teplotu 193 K (-80 °C) nebo nižší;

(2) se zdrojovou komorou, vyrobenou (potaženou nebo obloženou) z materiálů odolných vůči UF₆;