e. ’Asférické optické prvky’ mající všechny dále uvedené charakteristiky:
Technické poznámky:
Poznámka: 6A004.e. nekontroluje asférické optické prvky, které mají některou z dále uvedených charakteristik:
POZN.: ’Asférické optické prvky’ speciálně konstruované pro litografická zařízení viz 3B001.

a. Největší rozměr optické apertury menší než 1 m a poměr ohniskové délky k apertuře (poměr otevření) rovný nebo větší než 4,5 : 1;

b. Největší rozměr optické apertury rovný nebo větší než 1 m a poměr ohniskové délky k apertuře rovný nebo větší než 7 : 1;

c. Jsou konstruovány jako optické prvky typu Fresnel, flyeye či páskového, hranolovitého nebo mřížkového typu;

d. Jsou vyrobeny z borokřemičitanového skla s koeficientem lineární tepelné roztažnosti větším než 2,5 x 10^-6/K při 25 °C; nebo

e. Jsou rentgenovým optickým prvkem se schopnostmi dovnitř zaměřeného zrcadla (např. zrcadla typu trubek (tube type mirrors)).

1. Největší rozměr optické apertury je větší než 400 mm;

1. ’Asférický optický prvek’ je kterýkoli prvek používaný v optickém systému, jehož zobrazovací povrch nebo povrchy jsou vyvinuty tak, aby se odchýlily od profilu ideální plochy.

2. Drsnost povrchu je menší než 1 nm (rms) pro měřicí délku rovnou nebo větší než 1mm; a

2. Od výrobců se nepožaduje, aby měřili drsnost povrchu udávanou v 6A004.e.2., pokud optický prvek nebyl záměrně konstruován nebo vyroben tak, aby dosahoval nebo překračoval tyto kontrolní parametry.

3. Koeficient absolutní velikosti lineární tepelné roztažnosti je menší než 3 x 10^-6/K při 25 °C.