(h) Excimerové lasery (XeF, XCl, KrF) mající všechny následující charakteristiky:

1. pracující při vlnových délkách mezi 240 a 360 nm;

2. s opakovacím kmitočtem vyšším než 250 Hz; a

3. s průměrným výkonem vyšším než 500 W.