c. Provozní zařízení „řízené uloženým programem“ pro fyzikální parní nanášení s elektronovým svazkem (EB-PVD), s energetickými systémy s jmenovitou hodnotou přes 80 kW, která mají některou z následujících charakteristik:

1. „Laserový“ systém k řízení výšky hladiny kapaliny, který přesně reguluje rychlost podávání ingotů; nebo

2. Počítačem řízený monitor rychlosti, pracující na principu fotoluminiscence ionizovaných atomů v proudu odpařené látky pro řízení rychlosti nanášení povlaků obsahujících dva nebo více prvků;