c. Zařízení pro měření nepravidelností povrchu měřením optického rozptylu jako funkce úhlu, jejichž citlivost je 0,5 nm nebo lepší.
c. Zařízení pro měření nepravidelností povrchu měřením optického rozptylu jako funkce úhlu, jejichž citlivost je 0,5 nm nebo lepší.