c. Kontinuální (integrovaný) tok neutronů (ekvivalent 1 MeV) 5x10¹³ n/cm² nebo vyšší na křemíkové podložce nebo jeho ekvivalent pro jiné materiály.
Pozn.: 3A001.a.1.c. neplatí pro kov-izolant-polovodiče (MIS).