e. Hmotnostní spektrometry s molekulovým paprskem, které mají následující charakteristiky:

1. Komoru zdroje zhotovenou z nerezové oceli nebo molybdenu a mají vymrazovací kapsu schopnou chlazení na 193 K (-80 °C) nebo méně; nebo

2. Komoru zdroje zhotovenou z materiálu odolného proti působení UF₆ nebo takovým materiálem pokrytou nebo vyloženou.