a. Pozitivní rezisty vyvinuté pro polovodičovou litografii upravené (optimalizované) pro použití expozičního světla s vlnovou délkou pod 350 nm;
a. Pozitivní rezisty vyvinuté pro polovodičovou litografii upravené (optimalizované) pro použití expozičního světla s vlnovou délkou pod 350 nm;