3. 'Simulátorů litografického zpracování' ve fázi návrhu.
Technická poznámka:
'Simulátor litografického zpracování' je sada programů používaná ve fázi návrhu pro definování sledu litografických, leptacích a depozičních kroků, které transformují obrazce masek do specifických topografických obrazců ve vodičích, dielektrickém nebo polovodičovém materiálu.