1. Excimerové „lasery“, které mají některou z dále uvedených charakteristik:
POZN.: Excimerové „lasery“ speciálně konstruované pro litografická zařízení viz 3B001.

a. Výstupní vlnovou délku nepřesahující 150 nm a které mají některou z dále uvedených charakteristik:

1. Výstupní energii přesahující 50 mJ na impuls; nebo

2. Průměrný výstupní výkon přesahující 1 W;

b. Výstupní vlnovou délku přesahující 150 nm, ale nepřesahující 190 nm a které mají některou z dále uvedených charakteristik:

1. Výstupní energii přesahující 1,5 J na impuls; nebo

2. Průměrný výstupní výkon přesahující 120 W;

c. Výstupní vlnovou délku přesahující 190 nm, ale nepřesahující 360 nm a které mají některou z dále uvedených charakteristik:

1. Výstupní energii přesahující 10 J na impuls; nebo

2. Průměrný výstupní výkon přesahující 500 W; nebo

d. Výstupní vlnovou délku přesahující 360 nm a které mají některou z dále uvedených charakteristik:

1. Výstupní energii přesahující 1,5 J na impuls; nebo

2. Průměrný výstupní výkon přesahující 30 W;