6.1.9 Odparky (6.1.8) se silylují způsobem popsaným v bodě 6.1.9.1 nebo 6.1.9.2.

6.1.9.1 Mikrostříkačkou se přidá 200 μl BSTFA (4.9.1) a směs se nechá v uzavřené nádobě 12 hodin při pokojové teplotě.

6.1.9.2 Mikrostříkačkou se postupně přidá 200 μl HMDS (4.9.2) a 100 μl TMCS (4.9.3), směs se zahřívá v uzavřené nádobě 30 minut na 60 °C. Směs se ochladí.