5.4.3.2. Vakuové vývěvy speciálně konstruované pro práci v prostředí obsahujícím UF₆, vyrobené z hliníku, niklu nebo ze slitin s obsahem niklu převyšujícím 60% nebo těmito materiály povlakované. Tyto vývěvy mohou být provedeny buď jako rotační nebo objemové. Mohou mít ucpávky a těsnění z fluorovaných uhlovodíkových polymerů a mohou používat speciální pracovní kapaliny.