5.4.5. Hmotnostní spektrometry pro analýzu UF₆ a iontové zdroje
Speciálně konstruované nebo upravené magnetické nebo kvadrupólové hmotnostní spektrometry schopné uskutečňovat „on-line“ odběr vzorků přiváděného materiálu z proudů plynného UF₆, „produktu“ nebo „zbytků“, které mají všechny z následujících charakteristik:
Položky uvedené v položce 5.4.1. až 5.4.5. musí vyhovět požadavkům standardů na velmi vysoké vakuum a čistotu. Měřící, regulační a řídící systémy musí zajistit_striktní a nepřetržité udržování vakua ve všech technologických systémech, automatickou havarijní ochranu a přesnou automatickou regulaci proudu plynu. Položky uvedené v položce 5.4.1. až 5.4.5. buď přicházejí do přímého kontaktu s plynným UF₆ v technologickém procesu nebo přímo regulují průtok v kaskádách. Všechny povrchy, které přicházejí do kontaktu s technologickým plynem jsou vyrobeny z materiálů odolných vůči UF₆ nebo jimi potaženy.

a) jednotkovou rozlišovací schopnost pro atomovou hmotnost vyšší než 320,

b) iontové zdroje vyrobené z nichromu nebo monelu, či niklu, nebo těmito materiály povlakované,

c) iontové zdroje s ionizací elektronovým ostřelováním a

d) kolektorový systém vhodný pro provádění izotopické analýzy.