5.7.13.6. Excimerové lasery (XeF, XCl, KrF), mající všechny následující charakteristiky:

a) pracující při vlnových délkách mezi 240 nm a 360 nm,

b) s opakovacím kmitočtem vyšším než 250 Hz a

c) s průměrným výkonem vyšším než 500 W.