1. 2.2’-Thiodiethan-1-ol (thiodiglykol) (CAS 111-48-8);
1. Proces modifikovaný pro jedno z dále uvedeného:
1. Snímač použitý pro určení nejistoty měření systému pro kontrolu rozměrů je popsán ve VDI/VDE 2617 části 2, 3 a 4.
1. Sací průtok je určován v bodě měření s plynným dusíkem nebo vzduchem.
1. Vypočítejte efektivní výpočetní rychlost R pro každý výpočetní prvek „CE“;

a. Pulzační CVD;

b. Řízené nukleační tepelné nanášení (CNTD); nebo

c. Plazmou prováděné nebo podporované CVD; a