2. Oxychlorid fosforečný (fosforyltrichlorid) (CAS 10025-87-3);
2. Obsahující následující:
2. Všechny hodnoty parametrů měření v 2B206 představují plus/minus tj. nikoli celé pásmo.
2. Výsledné vakuum je určováno na vstupu do vývěvy při zablokování tohoto vstupu.
2. Použijte nastavení délky slova (L) k výpočtu efektivní výpočetní rychlosti R a k získání teoretického výkonu (TP) pro každý výpočetní prvek („CE“);

a. Vysokovakuové (0,01 Pa nebo méně) rotační ucpávky; nebo

b. Řízení tloušťky povlaku in situ;