2. Odstředivkové extraktory pro rychlou výměnu kapalina - kapalina, s dobou setrvání ve stupni 30 s nebo méně a odolné proti koncentrované kyselině chlorovodíkové (např. vyrobené z vhodného plastu jako jsou fluorouhlíkové polymery nebo ze skla nebo jimi chráněné);
2. Maximální průměr 175 mm pro válcové nádoby; nebo
2. Polysilazany (pro výrobu nitridu křemíku);
2. Vyrobená z organických nebo uhlíkatých „vláknitých materiálů“:
2. Mající dvě nebo více otočných os, které:
2. Fluoropolymery;
2. Vysokoenergetické akumulační kondenzátory:
Viz také 3A201.a.
2. Komoru zdroje zhotovenou z materiálu odolného proti působení UF6 nebo takovým materiálem pokrytou nebo vyloženou.
2. Jsou konstruovány jako integrovaný systém ve vakuovém prostředí pro sekvenční zpracování mnoha destiček;
a. Které mají „měrnou pevnost v tahu“ přesahující 17,7 x 104 m;
a. Mohou být řízeny současně za účelem „interpolace tvaru“; a
a. Kondenzátory s opakovacím kmitočtem méně než 10 Hz (jednorázové akumulační kondenzátory), které mají všechny dále uvedené charakteristiky:
1. Jmenovité napětí rovné nebo větší než 5 kV;
2. Hustotu energie rovnou nebo větší než 250 J/kg; a
3. Celkovou energii rovnou nebo větší 25 kJ;
b. Které mají „měrný modul“ větší než 10,15 x 106 m;
b. Přesnost nastavení polohy je lepší než 0,003°;
b. Kondenzátory s opakovacím kmitočtem 10 Hz nebo větším (repetition rated capacitors), které mají všechny dále uvedené charakteristiky:
1. Jmenovité napětí rovné nebo větší než 5 kV;
2. Hustotu energie rovnou nebo větší než 50 J/kg;
3. Celkovou energii rovnou nebo větší než 100 J; a
4. Životnost rovnou nebo větší než 10000 cyklů nabití/vybití;
c. Které nejsou kontrolovány 1C010.a. nebo 1C010.b.; a
d. Které jsou impregnovány materiály specifikovanými v 1C008 nebo 1C009.b., s teplotou skelného přechodu (Tg) vyšší než 383 K (110 °C) nebo fenolickými či epoxidovými pryskyřicemi, které mají teplotu skelného přechodu (Tg) přesahující 418 K (145 °C).