1. 6. 5. 1 Aparatura
Zařízení se skládá z následujících dílů:
- blok, ve kterém jsou umístěny efusní komůrky s možností termostatování a evakuace,
- vysokovakuová pumpa (kupř. difusní pumpa nebo turbomolekulární vývěva) a podtlakové měřidlo,
- nádobka se zkapalněným dusíkem nebo suchým ledem
Hliníkový vakuový blok s elektrickým odporovým ohřevem a se čtyřmi ocelovými efusními kumůrkami je znázorněn jako příklad na obrázku 5. Ocelová membrána tloušťky cca 0,3 mm s efusním otvorem o průměru 0,2 - 1 mm je připojena k efusní komůrce víčkem opatřeným závitem.