1. Zařízení s provozem kazeta-kazeta a uzávěry náplně (load-locks), která mají některou z dále uvedených charakteristik:

a. Navržena nebo optimalizována pro vytvoření kritických rozměrů 0,3 μm nebo menších s přesností ± 5 % 3 sigma; nebo

b. Navržena pro generování méně než 0,04 částic/cm² s měřitelným rozměrem částice větším než 0,1 μm v průměru;