b. Schopnost exponovat obrazce s velikostí 'nejmenšího rozlišitelného prvku' 0,35 μm nebo menší;
Technická poznámka:
Velikost 'nejmenšího rozlišitelného prvku' se vypočítává podle následujícího vzorce:
MRF= vlnová délka světelného zdroje v mikrometrech ×Kčíselná apertura
kde K faktor = 0,7
MRF = velikost nejmenšího rozlišitelného prvku