⚠ Zákon 397/2003 byl zrušen ke dni 2004-12-02.
Níže je poslední platné znění před zrušením — pro orientaci nebo studium historie. Pro aktuální právní úpravu hledej nahrazující předpis.
a. Navržena nebo optimalizována pro vytvoření kritických rozměrů 0,3 μm nebo menších s přesností ± 5 % 3 sigma; nebo